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Kevex SIGMATM能谱仪图像功能的实现
发布时间：2017-09-01
我们在原有的AMRAY-1000B型扫描电镜的基础上,通过改造,使它与美国Kevex公司生产的SIGMATM系列能谱仪有机地结合在一起,成为微区分析和图像处理的强有利工具。本文着重介绍其图像处理功能。
SIGMA EDS系统从电子显微镜上获取电子图像,需要的硬件设备有探头/前置放大器、VME脉冲处理器、VME模拟-数字转化模块(ADC)、DBC板及显微镜接口盒(也称为4855)等。
Kevex SIGMATM能谱仪的图像功能硬件结构图如下。
DBC―――DBC板使SIGMA具有图像功能。DBC板通过连接4855的双向光缆传输命令从电子显微镜采集图像。显微镜接口盒4855用于成像。该盒子控制显微镜电子束并采集视频输入,它通过光缆与分析器(Analyzer)相连,是SIGMA与显微镜的图像接口。它的弹性设计使之可以配置到任何扫描电子显微镜上。这个盒子通过一个双向光缆与SIGMA箱体中的DBC板相连且自带电源,以避免地线。通过BNC终端同轴电缆与电子显微镜相连。4855允许地线通过信号的许多部分,这对没有设计外部控制的老电子显微镜有用。内部电子显微镜信号可以被中断并传送到4855。当DBC命令4855进行控制时,4855将在这些线路中采用延迟中断线路并扦入4855的信号。我们需要将它与AMRAY-1000B型扫描电镜进行连接。具体连接见结构图。PC是一配有1280×1024显示器的高效奔腾个人微型计算机。它是用户介面且大多数处理工作在计算机中完成,同时配有一台激光或彩色打印机、PC通过以太网与VME通讯。
Kevex SIGMATM能谱仪使用的图像处理和分析软件是AnalySIS 2・1版。AnalySIS分析软件可用于单个或两个监视器。对于双屏显示,一个屏作为对话屏,另一个屏用来显示活动的图像。AnalySIS软件采用的是Graphical User Interfache(GUI图形用户界面),通过这个界面可以把能谱仪采集到的X射线图进行分析和处理,例如加伪彩色、图像的等灰度线、图像的重叠、算术运算和逻辑运算、微米级线宽的测量、立体高度的测量等等。总之,图像分析软件analySIS是一款功能强大的图像分析软件,它完全可以满足我们对图像处理及分析的各种要求。
因此,从能谱仪的发展历史可以看出,随着计算机技术的进步,能谱仪已经超越了基本的微区成分分析的功能,同时具备了强大的图像处理和分析功能。这种综合的显微分析系统已经成为分析仪器发展的一个必然的趋势。
摘自：中国计量测控网
