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乙硅烷、1590-87-0 CAS查询、乙硅烷物化性质
发布时间:2024-10-18
中文名称: 乙硅烷
中文别名: 乙硅烷;二矽烷
英文名称: disilane
英文别名: DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane
CAS号: 1590-87-0
EINECS号: 216-466-5
分子式: H6Si2
分子量: 62.22
InChI: InChI=1/H6Si2/c1-2/h1-2H3
分子结构:
密度: 0,686 g/cm3
熔点: --132°C
沸点: -14,5°C
闪点: <10°C
折射率: -
蒸汽压: - 物化性质: -
产品用途:
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
危险品标志:
安全术语: 空气中自燃、吸入有害、与皮肤接触有害、刺激眼睛、刺激呼吸系统、刺激皮肤、吸入可能引起过敏
安全术语: 远离火源-禁止吸烟、避免接触皮肤、如果接触眼睛,请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品






