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双(二乙基氨基)硅烷、27804-64-4 CAS查询、双(二乙基氨基)硅烷物化性质
发布时间:2024-10-18 浏览次数:588
中文名称: 双(二乙基氨基)硅烷
中文别名: 双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺
英文名称: 双(二乙基氨基)硅烷
英文别名: SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2;bis(diethylamino)dihydrosilane
CAS号: 27804-64-4
EINECS号: -
分子式: C8H22N2Si
分子量: 174.36
InChI: -
分子结构:
密度: 0.804
熔点: --
沸点: 70°C (30mm)
闪点: -
折射率: -
蒸汽压: -
物化性质: -
产品用途: 双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。
危险品标志: -
风险术语: -
安全术语: -
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