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双(二乙基氨基)硅烷、27804-64-4 CAS查询、双(二乙基氨基)硅烷物化性质

发布时间:2024-10-18  浏览次数:588

 

 中文名称: 双(二乙基氨基)硅烷  

 中文别名: 双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺  

 英文名称: 双(二乙基氨基)硅烷  

 英文别名: SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2;bis(diethylamino)dihydrosilane  

 CAS号: 27804-64-4  

 EINECS号: -  

 分子式: C8H22N2Si  

 分子量: 174.36  

 InChI: -  

 分子结构:  

 密度: 0.804  

 熔点: --  

 沸点: 70°C (30mm)  

 闪点: -  

 折射率: -  

 蒸汽压: -  

 物化性质: -  

 产品用途: 双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。  

 危险品标志: -  

 风险术语: -  

 安全术语: -

 
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